目前制备电子工业用超纯水的工艺基本上是以下三种,主要是 纯水设备 与工工艺的不同。其余的工艺流程大都是在以下三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优缺点分别列于下面: 1、第一种采用离子交换树脂其优点在于初投资少,占用的...